Žymos: biometrinių jutiklis, ph jutiklis, Biosensor, dujų šaltnešis r134a, eeg, ph, radaro jutiklis, lanksti aukso elektrodo, dulkių jutiklis, aukso elektrodo juostos.

modname=ckeditor 10µm micro kondensatorius šakutė reiškia elektrodas MEMS optinis dujų biosensor linijiniai aptikimo vieno elektrodo 1. Išorės matmenys: 4,2 mm*4,5 mm*0.52 mm. 2. Elektrodo tarpas 10 mikronų 3. Elektrodo substratas yra monokristalinius si ir SiO2 auga ant paviršiaus iš silicio plokštelių, kurių storis 300nm; 4. Metalo sluoksnio struktūra: Cr/As, su storis 30 nm ir 100nm atitinkamai; 5. Elektrodo temperatūros diapazonas: -150 C~500 C; 6. Elektrodo varža yra didesnė kaip 100 Ω t (64%), kambario temperatūrą, drėgnumą; 7. Daugiausia naudojamos įvairios cheminės, fizinės ir medicininės jutikliai su patikimus rezultatus ir stabilią kokybę.